依頼講演 Co/Si界面の酸化物層がショットキー障壁高さと接触抵抗に及ぼす影響

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  • イライ コウエン Co/Si カイメン ノ サンカブツソウ ガ ショットキー ショウヘキ タカサ ト セッショク テイコウ ニ オヨボス エイキョウ
  • Effect of an oxide layer at Co/Si interface on Schottky barrier height and contact resistivity
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ ・ デバイス

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