小山田記念賞 半導体製造装置・薄型ディスプレイ製造装置用基板ホルダーの製造方法開発

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  • オヤマダ キネンショウ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ウスガタ ディスプレイ セイゾウ ソウチヨウ キバン ホルダー ノ セイゾウ ホウホウ カイハツ
  • Oyamada Memorial lecture: Development of production method of substrate holder for manufacturing equipments of semiconductor and flat panel display

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  • 軽金属

    軽金属 58 (3), 117-122, 2008-03

    東京 : 軽金属学会

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