極端紫外光リソグラフィー用レジスト開発 : レジスト内での像形成という視点から
Bibliographic Information
- Other Title
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- キョクタン シガイコウ リソグラフィーヨウ レジスト カイハツ : レジスト ナイ デ ノ ゾウ ケイセイ ト イウ シテン カラ
- Development of Extreme Ultraviolet Resists : From the Viewpoint of Image Formation in Resist Materials
- 実用化に向かう極端紫外リソグラフィー
- ジツヨウカ ニ ムカウ キョクタン シガイ リソグラフィー
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Journal
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- 光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan
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光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan 41 (3), 144-148, 2012-03
東京 : 日本光学会
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520572358911462656
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- NII Article ID
- 10030157451
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- NII Book ID
- AN00080324
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- ISSN
- 03896625
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- NDL BIB ID
- 023593835
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
