小孔付き半密閉空間を有する光導波型微小圧力センサにおける応答特性の基礎的検討
書誌事項
- タイトル別名
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- ショウアナツキ ハンミッペイ クウカン オ ユウスル ヒカリドウハガタ ビショウ アツリョク センサ ニ オケル オウトウ トクセイ ノ キソテキ ケントウ
- Output Response in guided-wave optical pressure sensor using semi-closed space under diaphragm
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収録刊行物
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- 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
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「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 32 1-4, 2015-10
[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan