水蒸気プラズマによるCOPとガラス系基板の異種材料接合

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  • スイジョウキ プラズマ ニ ヨル COP ト ガラスケイ キバン ノ イシュ ザイリョウ セツゴウ
  • Heterogeneous bonding between cyclo-olefin polymer (COP) and glass-like substrate by newly developed water vapor assisted plasma, Aqua Plasma Cleaner

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