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極薄シリコンピエゾ抵抗素子を用いたフレキシブルな圧力センサ
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- ゴクウス シリコンピエゾ テイコウ ソシ オ モチイタ フレキシブル ナ アツリョク センサ
- Flexible pressure sensor based on ultra-thin Si piezo-resistive membrane
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- 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
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「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 34 3p-, 2017
[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan