ループ型Ar/O₂誘導熱プラズマを用いたSi/SiC基板に対する高速酸化試験
書誌事項
- タイトル別名
-
- ループガタ Ar/O ₂ ユウドウ ネツ プラズマ オ モチイタ Si/SiC キバン ニ タイスル コウソク サンカ シケン
- Rapid Oxidation Test of Si and SiC Surface using Ar/O₂ Loop Type of Inductively Coupled Thermal Plasmas
- プラズマ パルスパワー 放電合同研究会 プラズマ・放電・パルスパワー一般
- プラズマ パルスパワー ホウデン ゴウドウ ケンキュウカイ プラズマ ・ ホウデン ・ パルスパワー イッパン
この論文をさがす
収録刊行物
-
- 電気学会研究会資料. PPT / パルスパワー研究会 [編]
-
電気学会研究会資料. PPT / パルスパワー研究会 [編] 2017 (39-47), 17-22, 2017-05-15
東京 : 電気学会