SiC単結晶のCMPプロセス改善に関する一検討
書誌事項
- タイトル別名
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- SiC タンケッショウ ノ CMP プロセス カイゼン ニ カンスル イチ ケントウ
- The advanced CMP process of SiC single crystal
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収録刊行物
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- 埼玉大学地域共同研究センター紀要 = Report of Cooperative Research Center, Saitama University
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埼玉大学地域共同研究センター紀要 = Report of Cooperative Research Center, Saitama University (7), 11-13, 2006
浦和 : 埼玉大学地域共同研究センター
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520572359753058432
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- NII論文ID
- 40015615887
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- NII書誌ID
- AA11808968
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- ISSN
- 13474758
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- NDL書誌ID
- 8924803
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles