表面波プラズマCVDを用いた窒化ホウ素膜の合成と絶縁性評価

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  • ヒョウメンハ プラズマ CVD オ モチイタ チッカ ホウソマク ノ ゴウセイ ト ゼツエンセイ ヒョウカ
  • Synthesis of Boron Nitride Films by Surface-Wave Plasma-Enhanced CVD and Characterization of Their Insulation Properties
  • 誘電・絶縁材料/放電・プラズマ・パルスパワー/高電圧合同研究会・放電・プラズマ・パルスパワー/高電圧/誘電・絶縁材料
  • ユウデン ・ ゼツエン ザイリョウ/ホウデン ・ プラズマ ・ パルスパワー/コウデンアツ ゴウドウ ケンキュウカイ ・ ホウデン ・ プラズマ ・ パルスパワー/コウデンアツ/ユウデン ・ ゼツエン ザイリョウ

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