水晶のエッチング形状の予測法とそのデバイスへの応用
Bibliographic Information
- Other Title
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- スイショウ ノ エッチング ケイジョウ ノ ヨソクホウ ト ソノ デバイス ヘ
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Abstract
記事分類: 測定・測定器
Journal
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- 計測自動制御学会論文集 = Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers
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計測自動制御学会論文集 = Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers 23 (12), p1233-1238, 1987-12
東京 : 計測自動制御学会 ; [1965]-
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520572360181683968
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- NII Article ID
- 40000951347
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- NII Book ID
- AN00072392
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- ISSN
- 04534654
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- NDL BIB ID
- 3150614
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM11(科学技術--科学技術一般--制御工学)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles