観察面の上下振動の影響を受けない光を用いた超精密面の全方向粗さ測定
書誌事項
- タイトル別名
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- カンサツメン ノ ジョウゲ シンドウ ノ エイキョウ オ ウケナイ ヒカリ オ
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抄録
記事分類: 測定・測定器
収録刊行物
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- 光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan
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光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan 16 (12), p548-552, 1987-12
東京 : 日本光学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520572360202155520
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- NII論文ID
- 40001174355
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- NII書誌ID
- AN00080324
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- ISSN
- 03896625
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- NDL書誌ID
- 3150585
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles