CVD膜の粗密性と吸湿性の定量的検討
書誌事項
- タイトル別名
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- CVD マク ノ ソミツセイ ト キュウシツセイ ノ テイリョウテキ ケントウ
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収録刊行物
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- 応用物理
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応用物理 43 (4), 330-334, 1974-04
東京 : 応用物理学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520572360208525824
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- NII論文ID
- 40017514461
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- NII書誌ID
- AN00026679
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- ISSN
- 03698009
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- NDL書誌ID
- 7503815
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles