超精密軟X線光学系の開発と応用--EUVリソグラフィー
Bibliographic Information
- Other Title
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- チョウセイミツ ナンXセン コウガクケイ ノ カイハツ ト オウヨウ EUV リソグラフィー
- 特集 X線工学とその応用
- トクシュウ Xセン コウガク ト ソノ オウヨウ
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Journal
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- レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編
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レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編 27 (1), 20-24, 1999-01
吹田 : レーザー学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520572360231511936
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- NII Article ID
- 10002251153
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- NII Book ID
- AN00255326
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- ISSN
- 03870200
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- NDL BIB ID
- 1524936
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
