ミクロの機械システム--極微の機械部品とシステムをSi微細加工技術で作る
Bibliographic Information
- Other Title
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- ミクロ ノ キカイ システム キョクビ ノ キカイ ブヒン ト システム オ
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Abstract
記事分類: 機械工学--機械の要素・機構学
Journal
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- 日経エレクトロニクス = Nikkei electronics : sources of innovation
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日経エレクトロニクス = Nikkei electronics : sources of innovation (436), p209-221, 1987-12-14
東京 : 日経BP
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520572360244301056
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- NII Article ID
- 40002804026
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- NII Book ID
- AN0018467X
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- ISSN
- 03851680
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- NDL BIB ID
- 3153712
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
