Cu-Zr合金のSi-LSI配線材料への適応
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- Other Title
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- Cu Zr ゴウキン ノ Si LSI ハイセン ザイリョウ エ ノ テキオウ
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記事分類: 電気工学--電気材料・部品
Journal
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- 釧路工業高等専門学校紀要 = Research reports Kushiro National College of Technology / 釧路工業高等専門学校 編
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釧路工業高等専門学校紀要 = Research reports Kushiro National College of Technology / 釧路工業高等専門学校 編 (28), p57-60, 1994-12
釧路 : 釧路工業高等専門学校
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520572360380944768
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- NII Article ID
- 110000174949
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- NII Book ID
- AN00065852
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- ISSN
- 0455017X
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- NDL BIB ID
- 3598447
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZV1(一般学術誌--一般学術誌・大学紀要)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
