MEMS産業の現状--MEMSの進化・市場・産業インフラ
Bibliographic Information
- Other Title
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- MEMS サンギョウ ノ ゲンジョウ MEMS ノ シンカ シジョウ サンギョウ インフラ
- 特集 マイクロマシン/MEMSの量産を支える設計・製造技術
- トクシュウ マイクロマシン MEMS ノ リョウサン オ ササエル セッケイ セイゾウ ギジュツ
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Journal
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- 電子材料
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電子材料 46 (11), 25-30, 2007-11
東京 : 工業調査会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520573329728875776
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- NII Article ID
- 40015699150
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- NII Book ID
- AN00153166
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- ISSN
- 03870774
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- NDL BIB ID
- 9261611
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles