3″φ高均一GaAsエピタキシャルウエハーの開発

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  • 3 ファイ コウ キンイツ GaAs エピタキシャルウエハー ノ カイハツ

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資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト

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  • 住友電気

    住友電気 (130), p84-88, 1987-03

    大阪 : 住友電気工業

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