イオンスパッタリング法による窒化ほう素皮膜の生成
書誌事項
- タイトル別名
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- イオン スパッタリングホウ ニヨル チッカ ホウソ ヒマク ノ セイセイ
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説明
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 愛知県工業技術センター報告 / 愛知県工業技術センター 編
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愛知県工業技術センター報告 / 愛知県工業技術センター 編 (31), 17-20, 1995-11
刈谷 : 愛知県工業技術センター
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520573330790496768
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- NII論文ID
- 40004414828
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- NII書誌ID
- AN00007233
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- ISSN
- 0286262X
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- NDL書誌ID
- 3911681
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
