プラズマCVD法にて成膜されるDLC膜の付き回り性に関する検討
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- プラズマ CVDホウ ニテ セイマク サレル DLCマク ノ ツキ マワリ セイ ニ カンスル ケントウ
- Study of the Coverage of DLC Coating Prepared by Plasma CVD
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- 山口県産業技術センター研究報告 = Report of Yamaguchi Prefectural Industrial Technology Institute / 山口県産業技術センター 編
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山口県産業技術センター研究報告 = Report of Yamaguchi Prefectural Industrial Technology Institute / 山口県産業技術センター 編 (31), 16-19, 2019-11
宇部 : 山口県産業技術センター
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520573331228214144
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- NII Article ID
- 40022189782
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- NII Book ID
- AA11510092
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- ISSN
- 1345210X
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- NDL BIB ID
- 030315821
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM5(科学技術--科学技術一般--工学・工業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
