エアロゾルデポジション法を用いた炭化ケイ素成膜の検討
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- エアロゾルデポジションホウ オ モチイタ タンカ ケイソセイマク ノ ケントウ
- A Study of Silicon Carbide Coating By Aerosol Deposition Method
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- 長野県工業技術総合センター研究報告
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長野県工業技術総合センター研究報告 (17), 1-5, 2022
長野 : 長野県工業技術総合センター
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520576601777990400
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- NII Book ID
- AA12170965
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- ISSN
- 18813119
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- NDL BIB ID
- 032646447
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- Data Source
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- NDL