常温Cu接合によるマイクロLEDアレイ積層型3D-ICの開発
Bibliographic Information
- Other Title
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- ジョウオン Cu セツゴウ ニ ヨル マイクロ LED アレイ セキソウガタ 3D-IC ノ カイハツ
- Development of μLED-stacked 3D-IC Using Room-Temperature Cu Bonding Technology
- 特集 ヘテロジニアス集積技術と光デバイス応用
- トクシュウ ヘテロジニアス シュウセキ ギジュツ ト ヒカリ デバイス オウヨウ
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Journal
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- Optronics : 光技術コーディネートジャーナル
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Optronics : 光技術コーディネートジャーナル 42 (11), 112-116, 2023-11
東京 : オプトロニクス社
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520579698513022592
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- NII Book ID
- AN00360965
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- ISSN
- 02869659
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- NDL BIB ID
- 033169340
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL