常温Cu接合によるマイクロLEDアレイ積層型3D-ICの開発

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  • ジョウオン Cu セツゴウ ニ ヨル マイクロ LED アレイ セキソウガタ 3D-IC ノ カイハツ
  • Development of μLED-stacked 3D-IC Using Room-Temperature Cu Bonding Technology
  • 特集 ヘテロジニアス集積技術と光デバイス応用
  • トクシュウ ヘテロジニアス シュウセキ ギジュツ ト ヒカリ デバイス オウヨウ

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