MOVPE法によるSi基板上GaPとSi表面処理の関係

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タイトル別名
  • MOVPEホウ ニ ヨル Si キバン ジョウ GaP ト Si ヒョウメン ショリ ノ カンケイ
  • Influence of Si thermal annealing on GaP structure grown on Si substrates using metalorganic vapor phase epitaxy
  • 電子部品・材料
  • デンシ ブヒン ・ ザイリョウ

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