シリコン基板光導波型加速度センサにおけるセンサ感度の有限要素法解析 : 導波路位置依存性及びダイヤフラム厚依存性
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- シリコン キバン ヒカリドウハガタ カソクド センサ ニ オケル センサ カンド ノ ユウゲン ヨウソホウ カイセキ : ドウハロ イチ イソンセイ オヨビ ダイヤフラムコウ イソンセイ
- FEM Analysis on Sensor Sensitivity in a Silicon-Based Guided-Wave Optical Accelerometer : Sensitivity Dependences on Waveguide Position and Diaphragm Thickness
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- 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
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「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 32 1-4, 2015-10
[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan
