走査型顕微鏡技術(SPM)を用いた微細加工
書誌事項
- タイトル別名
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- ソウサガタ ケンビキョウ ギジュツ SPM オ モチイタ ビサイ カコウ
- 特集 ナノサイエンス・ナノテクノロジーと光化学
- トクシュウ ナノサイエンス ナノテクノロジー ト コウカガク
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抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- SUT bulletin
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SUT bulletin 16 (8), 14-19, 1999-08
東京 : 東京理科大学
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520853832426200192
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- NII論文ID
- 40004518323
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- NII書誌ID
- AN10231313
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- ISSN
- 02897016
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- NDL書誌ID
- 4818944
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM1(科学技術--科学技術一般)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles