シリコン基板メニスカス面におけるマランゴニ力に関する考察--基板上のパーティクル除去と付着に及ぼすマランゴニ力の影響
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- シリコン キバン メニスカスメン ニ オケル マランゴニリョク ニ カンスル コウサツ キバン ジョウ ノ パーティクル ジョキョ ト フチャク ニ オヨボス マランゴニリョク ノ エイキョウ
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Journal
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- 日本機械学会論文集. B編
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日本機械学会論文集. B編 70 (695), 1651-1656, 2004-07
東京 : 日本機械学会 ; 1979-2010
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520853832601984512
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- NII Article ID
- 110004999511
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- NII Book ID
- AN00187441
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- ISSN
- 03875016
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- NDL BIB ID
- 7045753
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles