小型高エネルギー集束イオンビーム形成装置開発に向けた取り組み

書誌事項

タイトル別名
  • コガタ コウエネルギー シュウソク イオンビーム ケイセイ ソウチ カイハツ ニ ムケタ トリクミ
  • Approach to development of a compact MeV gases ion nanobeam system for proton beam writing
  • 特集 高エネルギーイオンビームを用いたナノ・マイクロ構造創製技術とその応用
  • トクシュウ コウエネルギーイオンビーム オ モチイタ ナノ マイクロ コウゾウ ソウセイ ギジュツ ト ソノ オウヨウ

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