昇温脱離法と等温脱離法を用いたSi(100)表面からの水素脱離バリヤー評価

書誌事項

タイトル別名
  • ショウオン ダツリホウ ト トウオン ダツリホウ オ モチイタ Si 100 ヒョウメン カラ ノ スイソ ダツリ バリヤー ヒョウカ
  • Evaluation of hydrogen desorption barrier from Si(100) surface using temperature-programmed desorption and isothermal desorption
  • 電子部品・材料
  • デンシ ブヒン ザイリョウ

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