創案と開発 オージェ電子-光電子コインシデンス分光によるシリコン単結晶表面および酸化シリコン超薄膜の局所電子状態の研究

書誌事項

タイトル別名
  • ソウアン ト カイハツ オージェ デンシ-コウデンシ コインシデンス ブンコウ ニ ヨル シリコンタンケッショウ ヒョウメン オヨビ サンカ シリコン チョウハクマク ノ キョクショ デンシ ジョウタイ ノ ケンキュウ
  • Study of Local Valence Electronic States of Clean Si Surfaces and Ultrathin SiO₂ Films Grown on Si by Using Auger-Photoelectron Coincidence Spectroscopy

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