炭化ケイ素基板上に成長させた1200℃ドライ酸化膜中の界面欠陥の電気特性とその熱アニーリング効果
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- タンカ ケイソ キバン ジョウ ニ セイチョウ サセタ 1200ドC ドライ サンカ マク チュウ ノ カイメン ケッカン ノ デンキ トクセイ ト ソノ ネツ アニーリング コウカ
- ワイドギャップ半導体とその電子デバイス応用論文小特集 ; 特集論文
- ワイドギャップ ハンドウタイ ト ソノ デンシ デバイス オウヨウ ロンブン ショウトクシュウ ; トクシュウ ロンブン
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- 電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス = The IEICE transactions on electronics. C / 電子情報通信学会 編
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電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス = The IEICE transactions on electronics. C / 電子情報通信学会 編 86 (4), 426-433, 2003-04
東京 : 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520853832825364096
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- NII Article ID
- 110003172129
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- NII Book ID
- AA11412446
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- ISSN
- 13452827
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- NDL BIB ID
- 6534955
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles