炭化ケイ素基板上に成長させた1200℃ドライ酸化膜中の界面欠陥の電気特性とその熱アニーリング効果

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タイトル別名
  • タンカ ケイソ キバン ジョウ ニ セイチョウ サセタ 1200ドC ドライ サンカ マク チュウ ノ カイメン ケッカン ノ デンキ トクセイ ト ソノ ネツ アニーリング コウカ
  • ワイドギャップ半導体とその電子デバイス応用論文小特集 ; 特集論文
  • ワイドギャップ ハンドウタイ ト ソノ デンシ デバイス オウヨウ ロンブン ショウトクシュウ ; トクシュウ ロンブン

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