Fabrication of highly scaled silicon nanowire gate-all-around metal-oxide-semiconductor field effect transistors by using self-aligned local-channel V-gate by optical lithography process

書誌事項

タイトル別名
  • Fabrication of highly scaled silicon nanowire gate all around metal oxide semiconductor field effect transistors by using self aligned local channel V gate by optical lithography process

この論文をさがす

抄録

コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ