高周波-直流結合形マグネトロンスパッタリング法による Ta/ITO構造のX線光電子分光法による評価

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  • コウシュウハ チョクリュウ ケツゴウガタ マグネトロンスパッタリングホウ ニ ヨル Ta ITO コウゾウ

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