有機シランを用いたプラズマCVD法によるダイヤモンドライクカーボン薄膜の膜特性評価

書誌事項

タイトル別名
  • ユウキ シラン オ モチイタ プラズマ CVDホウ ニ ヨル ダイヤモンドライクカーボン ハクマク ノ マク トクセイ ヒョウカ
  • Characterization of diamond-like carbon thin films prepared by radio-fequency plasma-enhanced CVD using organosilane
  • 電子部品・材料
  • デンシ ブヒン ザイリョウ

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