プラズマイオン注入法とその応用
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- プラズマイオン チュウニュウホウ ト ソノ オウヨウ
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- 電気学会技術報告
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電気学会技術報告 (860), 1-59, 2001-10
東京 : 電気学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520853833221458048
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- NII Article ID
- 40005014921
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- NII Book ID
- AN10441542
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- ISSN
- 09199195
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- NDL BIB ID
- 5967385
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles