高分解能角度分解光電子分光によるシリコン酸窒化膜及び高誘電率膜・シリコン界面の解析
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- コウ ブンカイノウ カクド ブンカイ コウデンシ ブンコウ ニ ヨル シリコンサン チッカ マク オヨビ コウユウデンリツ マク シリコン カイメン ノ カイセキ
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- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
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電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 103 (149), 31-36, 2003-06-27
東京 : 電子情報通信学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520853833362236544
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- NII Article ID
- 110003308379
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- NII Book ID
- AA1123312X
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- ISSN
- 09135685
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- NDL BIB ID
- 6645881
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles