層間絶縁膜中OH基による Pt/PLZT/Ptキャパシタの劣化

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  • ソウ カン ゼツエン マク チュウ OHキ ニ ヨル Pt PLZT Pt キャパシタ ノ レッカ
  • 強誘電体薄膜とその応用
  • キョウ ユウデンタイ ハクマク ト ソノ オウヨウ

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