層間絶縁膜中OH基による Pt/PLZT/Ptキャパシタの劣化
Bibliographic Information
- Other Title
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- ソウ カン ゼツエン マク チュウ OHキ ニ ヨル Pt PLZT Pt キャパシタ ノ レッカ
- 強誘電体薄膜とその応用
- キョウ ユウデンタイ ハクマク ト ソノ オウヨウ
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Journal
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- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
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電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 100 (653), 19-23, 2001-03-06
東京 : 電子情報通信学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520853833568489600
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- NII Article ID
- 110003310770
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- NII Book ID
- AA1123312X
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- ISSN
- 09135685
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- NDL BIB ID
- 5732086
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles