平成21年度大阪大学工業会賞受賞研究 量子ビーム装置へのイオン液体導入によるマイクロ・ナノ構造体作製法の開発
書誌事項
- タイトル別名
-
- ヘイセイ 21ネンド オオサカ ダイガク コウギョウカイショウ ジュショウ ケンキュウ リョウシ ビーム ソウチ エ ノ イオン エキタイ ドウニュウ ニ ヨル マイクロ ナノ コウゾウタイ サクセイホウ ノ カイハツ
この論文をさがす
収録刊行物
-
- Techno net : 大阪大学工業会誌
-
Techno net : 大阪大学工業会誌 (550), 8-11, 2010-10
吹田 : 大阪大学工業会
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1520853833599550208
-
- NII論文ID
- 40017360888
-
- NII書誌ID
- AA11542929
-
- NDL書誌ID
- 10874123
-
- 本文言語コード
- ja
-
- NDL 雑誌分類
-
- ZW2(一般誌--交友会誌その他)
-
- データソース種別
-
- NDL
- CiNii Articles