第三電極を有するマグネトロンスパッタ法によるAlドープZnO膜の低抵抗化
Bibliographic Information
- Other Title
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- ダイ3 デンキョク オ ユウスル マグネトロン スパッタホウ ニ ヨル Al ドープ ZnO マク ノ テイテイコウカ
- Lowering the resistivity of Al doped ZnO films deposited by a magnetron sputtering with a third electrode
- 電子部品・材料
- デンシ ブヒン ザイリョウ
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Journal
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- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
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電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 108 (269), 19-22, 2008-10
東京 : 電子情報通信学会
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520853833609477376
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- NII Article ID
- 110007081674
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- NII Book ID
- AA1123312X
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- ISSN
- 09135685
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- NDL BIB ID
- 9703911
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles