大電力パルススパッタリング法を用いたDLC成膜におけるパルス放電条件の最適化
書誌事項
- タイトル別名
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- ダイ デンリョク パルススパッタリングホウ オ モチイタ DLCセイマク ニ オケル パルス ホウデン ジョウケン ノ サイテキカ
- Optimization of Pulse Discharge Conditions in Diamond-Like Carbon Films Deposition using High Power Impulse Magnetron Sputtering
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収録刊行物
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- 岡山理科大学技術科学研究所年報 = The bulletin of the Research Institute of Technology / 岡山理科大学技術科学研究所 編
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岡山理科大学技術科学研究所年報 = The bulletin of the Research Institute of Technology / 岡山理科大学技術科学研究所 編 (36), 1-9, 2018
岡山 : 岡山理科大学技術科学研究所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520853833664761344
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- NII論文ID
- 40021518691
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- NII書誌ID
- AA11819534
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- ISSN
- 13494155
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- NDL書誌ID
- 028935439
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN5(科学技術--建設工学・建設業--都市工学・衛生工学)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
