走査電子顕微鏡(SEM)による表面形状測定の研究--法線検出法による
Bibliographic Information
- Other Title
-
- ソウサ デンシ ケンビキョウ SEM ニ ヨル ヒョウメン ケイジョウ ソクテ
Search this article
Abstract
記事分類: 測定・測定器
Journal
-
- 日本機械学会論文集. C編
-
日本機械学会論文集. C編 52 (483), p2974-2981, 1986-11
東京 : 日本機械学会 ; 1979-2010
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1520853833774100864
-
- NII Article ID
- 110002389747
- 10004271549
-
- NII Book ID
- AN00187463
-
- ISSN
- 03875024
-
- NDL BIB ID
- 3100656
-
- Text Lang
- ja
-
- NDL Source Classification
-
- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
-
- Data Source
-
- NDL
- CiNii Articles