講座/プロセス Microprocessor Report誌 特約 IBM社のプロセス技術,0.10μmルール時代も主役に

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  • 講座　プロセス：IBM社のプロセス技術　　０．１０nmルール時代も主役に：Cu，SOIに続き，low－kとEBでも先行

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米IBM社は，常に半導体業界におけるプロセス技術の牽引けんいん者である。2年前にはCu配線，1年前にはSOI基板について発表し，どちらもすでに量産技術として使用している。先日，low－k材料としてSiLKを使用する計画を明らかにした。また，投影型の電子ビーム露光を用いた微細化技術でも先行している。

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