モンテカルロ法によるSiCへの3次元不純物イオン注入計算

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タイトル別名
  • モンテカルロホウ ニ ヨル SiC エ ノ 3ジゲン フジュンブツ イオン チュウニュウ ケイサン
  • Three-dimensional calculation of ion implantation to SiC substrate
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ ・ デバイス

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