対向ターゲット式反応性スパッタ法による CuAlO2薄膜の作製と評価
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- Other Title
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- タイコウ ターゲットシキ ハンノウセイ スパッタホウ ニ ヨル CuAlO2 ハクマク ノ サクセイ ト ヒョウカ
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- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
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電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 102 (434), 17-22, 2002-11-13
東京 : 電子情報通信学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520853833829398144
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- NII Article ID
- 110003174829
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- NII Book ID
- AA1123312X
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- ISSN
- 09135685
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- NDL BIB ID
- 6401305
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
