直接加熱方式CVD合成装置
書誌事項
- タイトル別名
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- チョクセツ カネツ ホウシキ CVD ゴウセイ ソウチ
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抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 共通施設技術研究報告 / 東北大学金属材料研究所 [編]
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共通施設技術研究報告 / 東北大学金属材料研究所 [編] (13), p15-17, 1989-03
仙台 : 東北大学金属材料研究所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520853833844161920
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- NII論文ID
- 40000734594
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- NII書誌ID
- AN00058846
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- ISSN
- 09113398
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- NDL書誌ID
- 3236016
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles