AIONゲート絶縁膜導入によるSiCパワーMOSFETの高性能化及び信頼性向上

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  • Performance and Reliability Improvement in SiC Power MOSFETs by Implementing AlON High-k Gate Dielectrics
  • シリコン材料・デバイス・IEDM特集(先端CMOSデバイス・プロセス技術)
  • シリコン ザイリョウ ・ デバイス ・ IEDM トクシュウ(センタン CMOS デバイス ・ プロセス ギジュツ)

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