圧電ダイアフラム型超音波センサの撓み構造と感度

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タイトル別名
  • アツデン ダイアフラムガタ チョウオンパ センサ ノ タワミ コウゾウ ト カンド
  • Buckling Structures and Their Effect to Sensitivity of Piezoelectric Diaphragm-Type Ultrasonic Microsensors
  • 電子デバイス
  • デンシ デバイス

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