プラズマ成膜プロセスにおけるサブサーフェスでの反応過程解析
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- プラズマ セイマク プロセス ニ オケル サブサーフェス デノ ハンノウ カテイ カイセキ
- Investigation of reactions at the subsurface region in plasma film deposition process
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コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会
Journal
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- プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会 編
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プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会 編 83 (12), 935-941, 2007-12
名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520853834025883264
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- NII Article ID
- 110006595334
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- NII Book ID
- AN10401672
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- ISSN
- 09187928
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- NDL BIB ID
- 9324674
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- Data Source
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- NDL
- NDL-Digital
- CiNii Articles