炭素系硬質コーテッド工具のリサイクル技術としての高密度酸素プラズマアッシング
書誌事項
- タイトル別名
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- タンソケイ コウシツ コーテッド コウグ ノ リサイクル ギジュツ ト シテ ノ コウミツド サンソ プラズマアッシング
- High Density Oxygen Plasma Ashing for Recycling and Reuse of DLC-Coated Tools and Dies
- 理工系編 VOL.58 NO.1 2014
- リコウケイヘン VOL.58 NO.1 2014
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収録刊行物
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- 芝浦工業大学研究報告 The research reports of Shibaura Institute of Technology / 芝浦工業大学 編
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芝浦工業大学研究報告 The research reports of Shibaura Institute of Technology / 芝浦工業大学 編 17-26, 2014
東京 : 芝浦工業大学