シリコン結晶技術と超LSI

書誌事項

タイトル別名
  • シリコン ケッショウ ギジュツ ト チョウLSI
  • Silicon crystal technologies for ultra large scale integration
  • [「応用物理」創刊75周年記念]特集記事
  • オウヨウ ブツリ ソウカン 75シュウネン キネン トクシュウ キジ

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収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 76 (8), 906-912, 2007-08

    東京 : 応用物理学会

参考文献 (65)*注記

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