デスクトップ型DRIE装置を用いたチタニウム製マイクロ構造体の作製
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- タイトル別名
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- デスクトップガタ DRIE ソウチ オ モチイタ チタニウムセイ マイクロ コウゾウタイ ノ サクセイ
- Fabrication of titanium microstructure using a desktop DRIE equipment
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収録刊行物
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- 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
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「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 30 1-5, 2013-11
[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan